激光干涉仪 检测服务

文章来源:     发布时间:2013-11-29

一、应用场合
机床定位精度和重复精度评估,并利用误差补偿功能来修正线性定位误差。
机床回转轴精度评估和误差补偿。

二、 性能参数
系统精度: ±0.5ppm (0~40 )(百万分之一);
测量范围:0~80m;
激光稳频精度:±0.05ppm;
分辨率:0.001 um ;
最大测量速度:4.0m/sec;
最高采样频率:50KHz;
预热时间: 6分钟;
可与RX1 0 回转轴组件配合使用,用于回转轴测量。角度光学镜组在与高精度转台与XL-80系统配用时,可进行回转轴全自动校准,精度达1秒。

三、联系方式
联系人:施云高
手 机:13921071899
电 话:0519-86339318
传 真:0519-86339318
    : ygshi@iamt.ac.cn